Der Diffusionsofen, der den Oxidationsprozess durchführen könnte, besteht aus einem Ofenrahmen, einer Heizung, einem Heizsteuergerät, einem Temperaturmessgerät, einem Quarzofenrohr, einem Push-Pull-Trägertablett, einem Gasweg und einer Abgasbehandlung Gerät. Die Anforderungen an die Temperaturregelung dieser Art von Diffusionsöfen sind wie folgt:

Heiztemperaturbereich	Umgebungstemperatur-1100	Kontrollgenauigkeit	±2 Grad
Maximale Heizrate	15 Grad/Min	Temperaturgleichmäßigkeit	±0,5 Grad /760 mm
Maximale Kühlrate	5 Grad/Min	Stabilität	±0,5 Grad /24h

 

Der Oxidationsdiffusionsofen verwendet im Allgemeinen Thermoelemente innerhalb und außerhalb des Ofens, um die Temperatur dynamisch zu steuern. Jede Temperaturzone ist mit einem Innen- und einem Außenthermoelement ausgestattet, um die Zuverlässigkeit der Temperaturregelung zu gewährleisten. Ein Halbleiter-Thermoelement vom Typ S (üblicherweise wird ein Mehrpunkt-Thermoelement verwendet, das über 3-9 verschiedene Stellen verfügt, um Temperaturinformationen zu erfassen) wird oft als inneres Thermoelement gewählt, das zur direkten Erfassung der Temperatur des Siliziumwafers verwendet wird und in Folgendes übersetzt werden könnte Präzise Anzeige der Wafertemperatur.

 

 

Duchin Instrument entwickelte Arten von Strukturen für Mehrpunkt-Thermoelemente, Mehrpunkt-Thermoelement-Kalibriergeräte für Experimente, eine Art Kaltstellenstruktur für Mehrpunkt-Thermoelemente, eine Art Anschlussverpackungsstruktur für Mehrpunkt-Thermoelemente und Arten von Verbundmetallschutz Rohr eines Mehrpunkt-Thermoelements für Oxidationsöfen und andere proprietäre Technologien, um die Anforderungen der Diffusionsofen-Temperaturmessung zu erfüllen. Die technischen Parameter des für Photovoltaikanlagen spezialisierten Halbleiter-Thermoelements vom Typ S sind wie folgt:

Technische Parameter	Internes Thermoelement
Typ	S,R
Draht- oder MIMS-Durchmesser	φ0.35~0.5
Arbeitstemperatur (Grad)	0~1100
Genauigkeit (Grad)	±1.0
Schutzrohrlänge (mm)	Kleiner oder gleich 4000
Schutzrohrdurchmesser (mm)	φ12~18
Schutzrohrmaterial	Quarz
Hot-End-Struktur	Ausgesetzt
Anzahl der Punkte	3~6 Punkte
Beendigung	Kleiner Stecker
Kompensationsdraht	SC{{0}}×0,5FPF
Strukturmerkmale	Es ist ziemlich schwierig, T/C für jeden Punkt in Kombination zusammenzustellen

 

 

 

 

 

 

 

 

 

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